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IT之家7月6日讯 据证券时报报道,针对媒体报道ASML试图规避荷兰新的销售许可禁令,推出针对中国市场的特别版DUV光刻机,7月6日下午对此,ASML回应称:ASML遵守适用的法律法规,公司并未针对中国市场推出特殊版本的光刻机。
此前有报道称,ASML试图规避荷兰新的销售许可禁令,针对中国市场推出了特别版DUV光刻机。 消息人士称,如果该项目继续进行,中芯国际、华虹等中国半导体企业可以继续使用荷兰设备生产28纳米及更成熟工艺的芯片。
IT之家注意到,荷兰官方公布了最新决定,要求企业在出口先进设备前必须获得许可证,新规定将于 9 月 1 日起生效。荷兰新规定出台后,ASML 表示:根据新的出口管制法规,该公司需要向荷兰政府申请出口许可证才能运送最先进的浸没式DUV系统(即:2000i及后续的浸没式光刻系统)。 荷兰政府将决定是否授予或拒绝出口许可证,并向 ASML 提供许可证所附条件的详细信息。
ASML在声明中强调,荷兰政府颁布的新出口管制法规仅涉及:2000i及后续浸没式光刻系统(DUV,深紫外光刻)。 该公司的EUV光刻(极紫外光刻)系统此前曾受到限制,其他系统的出货量尚未受到荷兰政府的控制。
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